半自动探针台技术指标

支持4，5，6寸wafer 分辨率0.25um 提供4个SMU接口，可同时输出(测量)四路直流信号。 每个SMU最大输出电压100V(-100V),最大输出电流1A 测量功率100V*10mA。 开路漏电流20fA。

半自动探针台主要功能

通过和外接的测试仪器4156C以及温度控制设备TP03000A的连接，组成一个测试平台，完成对器件封装前的电性能测试(电阻，C/V,击穿特性等)。

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    金沙js9999777(上海)有限公司是一家专注于半导体晶圆级测试系统、微纳米科学等领域提供综合性解决方案的企业，为全国各大高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体测试系统及微纳米科学仪器设备，助祖国半导体科学事业的腾飞贡献一份绵薄之力!

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